超低温制冷剂R14

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产品概述
技术参数

　　产品名称：四氟甲烷（R-14）制冷剂

　　化学式：CF4

　　产品用途：R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等)，R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量zui大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，巨化制冷剂厂家了解到R14制冷剂可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

巨化制冷剂,制冷剂厂家,河南制冷剂

　　储存及运输：R-14制冷剂钢瓶为高压容器，储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒，通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内;搬运时应轻装、轻卸，防止钢瓶以及阀门等附件破损。

技术要求 :

项目	高纯级	优级品	一级品
含量， % （V/V） ≧	99.99	99.9	99
氮气， % （V/V） ≦	0.002	0.03	0.3
氧气， % （V/V） ≦	0.0005	0.01	0.1
水分， ppm ≦	5	5	10
二氧化碳，ppm ≦	5	10	800
氟化碳 , ppm ≦	15	20	--
酸度（HF） ppm ≦	0.1	1	--
六氟化硫， ppm ≦	--	--	600

物理性质：

分子量	88
沸点，℃	--128
临界温度，℃	--45.67
临界压力，Kpa	3740
饱和蒸汽压，（25℃），Kpa	3650(--45.6℃)
汽化热/蒸发潜热（沸点下，latm)， kJ/Kg	--
破坏臭氧潜能值（ODP)	0
全球变暖系数值（GWP）	5700

技术要求 :

项目	高纯级	优级品	一级品
含量， % （V/V） ≧	99.99	99.9	99
氮气， % （V/V） ≦	0.002	0.03	0.3
氧气， % （V/V） ≦	0.0005	0.01	0.1
水分， ppm ≦	5	5	10
二氧化碳，ppm ≦	5	10	800
氟化碳 , ppm ≦	15	20	--
酸度（HF） ppm ≦	0.1	1	--
六氟化硫， ppm ≦	--	--	600

物理性质：

分子量	88
沸点，℃	--128
临界温度，℃	--45.67
临界压力，Kpa	3740
饱和蒸汽压，（25℃），Kpa	3650(--45.6℃)
汽化热/蒸发潜热（沸点下，latm)， kJ/Kg	--
破坏臭氧潜能值（ODP)	0
全球变暖系数值（GWP）	5700