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超低温制冷剂R14

超低温制冷剂R14

  • 产品概述
  • 技术参数

  产品名称:四氟甲烷(R-14)制冷剂


  化学式:CF4


  产品用途:R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量zui大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,巨化制冷剂厂家了解到R14制冷剂可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

巨化制冷剂,制冷剂厂家,河南制冷剂


  储存及运输:R-14制冷剂钢瓶为高压容器,储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒,通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内;搬运时应轻装、轻卸,防止钢瓶以及阀门等附件破损。


                 技术要求 :


项 目

高纯级

优级品

一 级品

含量, % (V/V)    ≧

99.99

99.9

99

氮气, % (V/V)    ≦

0.002

0.03

0.3

氧气, % (V/V)    ≦

0.0005

0.01

0.1

水分 , ppm     ≦

5

5

10

二氧化碳,ppm   ≦

5

10

800

氟化碳 , ppm    ≦

15

20

--

酸度(HF)  ppm  ≦

0.1

1

--

六氟化硫,  ppm    ≦

--

--

600

 

                  物理性质:

 

分子量

88

沸点,℃

--128

临界温度,℃

--45.67

临界压力,Kpa

3740

饱和蒸汽压,(25℃),Kpa

3650(--45.6℃)

汽化热/蒸发潜热(沸点下,latm),  kJ/Kg 

--

破坏臭氧潜能值(ODP)

0

全球变暖系数值(GWP)

5700




                 技术要求 :


项 目

高纯级

优级品

一 级品

含量, % (V/V)    ≧

99.99

99.9

99

氮气, % (V/V)    ≦

0.002

0.03

0.3

氧气, % (V/V)    ≦

0.0005

0.01

0.1

水分 , ppm     ≦

5

5

10

二氧化碳,ppm   ≦

5

10

800

氟化碳 , ppm    ≦

15

20

--

酸度(HF)  ppm  ≦

0.1

1

--

六氟化硫,  ppm    ≦

--

--

600

 

                  物理性质:

 

分子量

88

沸点,℃

--128

临界温度,℃

--45.67

临界压力,Kpa

3740

饱和蒸汽压,(25℃),Kpa

3650(--45.6℃)

汽化热/蒸发潜热(沸点下,latm),  kJ/Kg 

--

破坏臭氧潜能值(ODP)

0

全球变暖系数值(GWP)

5700




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