产品名称:四氟甲烷(R-14)制冷剂
化学式:CF4
产品用途:R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量zui大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,巨化制冷剂厂家了解到R14制冷剂可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
储存及运输:R-14制冷剂钢瓶为高压容器,储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒,通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内;搬运时应轻装、轻卸,防止钢瓶以及阀门等附件破损。
技术要求 :
项 目 | 高纯级 | 优级品 | 一 级品 |
含量, % (V/V) ≧ | 99.99 | 99.9 | 99 |
氮气, % (V/V) ≦ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
氧气, % (V/V) ≦ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
水分 , ppm ≦ | 5 | 5 | 10 |
二氧化碳,ppm ≦ | 5 | 10 | 800 |
氟化碳 , ppm ≦ | 15 | 20 | -- |
酸度(HF) ppm ≦ | 0.1 | 1 | -- |
六氟化硫, ppm ≦ | -- | -- | 600 |
物理性质:
分子量 | 88 |
沸点,℃ | --128 |
临界温度,℃ | --45.67 |
临界压力,Kpa | 3740 |
饱和蒸汽压,(25℃),Kpa | 3650(--45.6℃) |
汽化热/蒸发潜热(沸点下,latm), kJ/Kg | -- |
破坏臭氧潜能值(ODP) | 0 |
全球变暖系数值(GWP) | 5700 |
技术要求 :
项 目 | 高纯级 | 优级品 | 一 级品 |
含量, % (V/V) ≧ | 99.99 | 99.9 | 99 |
氮气, % (V/V) ≦ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
氧气, % (V/V) ≦ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
水分 , ppm ≦ | 5 | 5 | 10 |
二氧化碳,ppm ≦ | 5 | 10 | 800 |
氟化碳 , ppm ≦ | 15 | 20 | -- |
酸度(HF) ppm ≦ | 0.1 | 1 | -- |
六氟化硫, ppm ≦ | -- | -- | 600 |
物理性质:
分子量 | 88 |
沸点,℃ | --128 |
临界温度,℃ | --45.67 |
临界压力,Kpa | 3740 |
饱和蒸汽压,(25℃),Kpa | 3650(--45.6℃) |
汽化热/蒸发潜热(沸点下,latm), kJ/Kg | -- |
破坏臭氧潜能值(ODP) | 0 |
全球变暖系数值(GWP) | 5700 |